無(wú)塵車間、無(wú)塵室
2022-12-31 619
什么是無(wú)塵室（無(wú)塵車間），無(wú)塵等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)
無(wú)塵車間（潔凈室）等級(jí)大體可以分為十萬(wàn)級(jí)、萬(wàn)級(jí)、千級(jí)、百級(jí)、十級(jí)。數(shù)字越小，潔凈等級(jí)越高。
10級(jí)的潔凈室凈化工程主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。百級(jí)潔凈室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等，這一潔凈室凈化工程大量應(yīng)用于，手術(shù)室，包括移植手術(shù)，集成器的制造、隔離病房等等。
空氣潔凈度等級(jí)（air cleanliness class）：潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
無(wú)塵車間等級(jí)劃分主要根據(jù)換氣次數(shù)，塵埃粒子、微生物的多少來(lái)劃分。國(guó)內(nèi)按空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)對(duì)無(wú)塵車間進(jìn)行測(cè)試、驗(yàn)收，符合《GB50073-2013 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、《GB50591-2010潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》。
那什么是靜態(tài)、空態(tài)、動(dòng)態(tài)呢？
1）、靜態(tài)
靜態(tài)a:指潔凈室(區(qū))在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已安裝完畢且功能完備的情況下,生產(chǎn)工藝設(shè)備已安裝、潔凈室(區(qū))內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的狀態(tài)。
靜態(tài)b:指潔凈室(區(qū))在生產(chǎn)操作全部結(jié)束,生產(chǎn)操作人員撤離現(xiàn)場(chǎng)并經(jīng)過20 min自凈后。
2）、動(dòng)態(tài)
指潔凈室(區(qū))已處于正常生產(chǎn)狀態(tài),設(shè)備在指定的方式下進(jìn)行,并且有指定的人員按照規(guī)范操作。
3）、空態(tài)
指潔凈室(區(qū))在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已安裝完畢且功能完備的情況下,但是沒有生產(chǎn)設(shè)備、原材料或人員的狀態(tài)。
通過以上釋義，我們可以匯總?cè)缦卤恚?/p>
潔凈室(Clean Room)，亦稱為無(wú)塵室或潔凈室。 「潔凈室」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。潔凈度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗(yàn)無(wú)塵車間質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、潔凈程度等因素，分為若干等級(jí)，常用的有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
ISO14644-1國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)—空氣潔凈度等級(jí)劃分
GB50073-2013國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)—空氣潔凈度等級(jí)
中國(guó)GMP（2010年修訂）新版GMP附錄1無(wú)菌藥品.第三章.第九條……潔凈區(qū)各級(jí)別空氣懸浮粒子的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定如下
各國(guó)潔凈度等級(jí)近似對(duì)照表
無(wú)塵車間（潔凈室）等級(jí)說明
首先是等級(jí)定義的模式如下：
Class X (at Y μm )
其中X是無(wú)塵室的等級(jí)，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復(fù)選。意思就是使用者規(guī)定，該無(wú)塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級(jí)的限度。這樣可以減少紛爭(zhēng)，以下是幾個(gè)例子：
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一個(gè)粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... )，一般要看多幾個(gè)粒徑。
第二個(gè)技巧是規(guī)定無(wú)塵室的狀態(tài)，例如：
Class X (at Yμm )，At-rest
供貨商就很清楚知道無(wú)塵室要在At-rest狀態(tài)下驗(yàn)收。
第三個(gè)技巧是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時(shí)無(wú)塵室都很干凈，微粒控制能力測(cè)試不易，這時(shí)可以干脆把驗(yàn)收上限壓低，例如：
Class 10000 (0.3μm <= 10000)，As-built
Class 10000 (0.5μm <= 1000)，As-built
這樣做的目的是確保無(wú)塵室在Operational狀態(tài)時(shí)，依然有足夠的微粒控制能力。
